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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:大型勻膠機旋涂儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-SPC12-SS
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
本設(shè)備為大型勻膠機,采用大功率伺服電機,配合高精度驅(qū)動器,可實現(xiàn)對大尺寸樣品的**勻膠實驗
詳情介紹:
本設(shè)備為大型勻膠機,采用大功率伺服電機,配合高精度驅(qū)動器,可實現(xiàn)對大尺寸樣品的**勻膠實驗。
勻膠腔體采用不銹鋼材質(zhì),美觀大方,方便清潔。并且腔體帶有閉鎖裝置,在裝入樣品后能夠閉鎖腔體,防止發(fā)生意外時樣品飛出,能夠有效保護使用者。腔體內(nèi)置排膠口,便于收集廢液。*大能支持直徑300mm厚度2.3mm的樣品。

本設(shè)備采用高精度驅(qū)動器,轉(zhuǎn)速分辨率可達(dá)0.2rpm。

勻膠機技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品型號

CY-SPC12-SS

勻膠腔體

不銹鋼材質(zhì),*大支持直徑300mm厚度2.3mm的晶圓內(nèi)置排膠口

轉(zhuǎn)速

3000rpm

轉(zhuǎn)速分辨率

0.2rpm

控制方式

15英寸全高清觸控屏,可使用USB接口升級程序

供電

AC220V 50Hz 2kW

真空泵

無油真空泵,抽速120L/min

真空接口

KF16

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號