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防腐蝕勻膠機(jī)主要特點(diǎn)：
1.表殼和旋轉(zhuǎn)盤由聚丙烯（PP）制成，可抵抗大部分腐蝕性溶液。
2.數(shù)字控制箱與旋涂機(jī)分開。
3.標(biāo)配一個(gè)過濾器。它用于連接泵和涂布機(jī)，以防止廢水流入泵。
4.標(biāo)配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái)，防止飛片。
5.帶真空和蓋子開關(guān)互鎖功能，確保操作穩(wěn)定。
6.內(nèi)腔直徑150mm，PP防腐真空吸盤Φ100mm，可處理碎片（小于1cm）至6英寸圓晶底物。
7.數(shù)字控制面板，帶有6個(gè)可編程段，可實(shí)現(xiàn)不同的旋轉(zhuǎn)時(shí)間和速度。
8.電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定，可以保證圖層厚度的一致性和均勻性。
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項(xiàng)目 |
明細(xì) |
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旋涂儀 |
供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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轉(zhuǎn)速 |
0~10000rpm |
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加速度 |
100~5000rpm/s |
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轉(zhuǎn)速分辨率 |
1rpm |
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單步時(shí)間 |
3000s |
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基片尺寸 |
直徑≤8英寸（200mm） |
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腔體材質(zhì) |
聚四氟 |
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操作方式 |
7寸高清LCD觸控屏 |
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滴膠方式 |
手動(dòng)滴膠，可選購精密注射泵 |
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勻膠曲線 |
每條曲線5段，共可儲(chǔ)存5條曲線 |
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抽氣接口 |
φ8mm 快擰接口 |
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整機(jī)尺寸 |
290mm×365mm×310mm |
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整機(jī)重量 |
12kg |
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排氣系統(tǒng) |
真空泵 |
干式機(jī)械泵 |
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抽氣速率 |
50L/min |
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供電電源 |
AC220V 50/60Hz |
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