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真空防腐型勻膠機(jī)性能優(yōu)點(diǎn)：
1.真空防腐型勻膠機(jī)主機(jī)機(jī)箱采用PP外殼材料，耐腐蝕易清潔
2.內(nèi)腔采用易清潔、耐腐蝕超高分子材料（HDPE）
3.采用工業(yè)級別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
4.排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。
5.透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。
真空防腐型勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù)：旋涂程序：至多可存100組程序，每組100步，每個步驟可**到0.1秒
轉(zhuǎn)動速度：0-10,000rpm（更高速可選）
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 ：<±1rpm
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度及重復(fù)性：1rpm
CY-S-V真空防腐型勻膠機(jī)帶真空數(shù)字顯示功能
工藝時間設(shè)定：0-3,000sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec
支持晶圓尺寸：碎片至200mm（8”圓晶）
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