真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品原理：

等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三個(gè)大的部分組成，分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。
1、控制單元：
控制單元主要分為半自動(dòng)控制、全自動(dòng)控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。
而控制單元又分為兩個(gè)大的部分：1）電源部分：主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要電源匹配器的，而2.45GHz又稱為微波等離子。2）系統(tǒng)控制單元：分三種，按鈕控制（半自動(dòng)、全自動(dòng)）、電腦控制、PLC控制（液晶觸摸屏控制）。
2、真空腔體：
真空腔體主要是分為兩種材質(zhì)的：1）不銹鋼真空腔體，2）石英腔體。
3、真空泵：
真空泵種類較多，其選擇會(huì)根據(jù)用戶的真空度要求、體積要求來(lái)配置。

真空等離子清洗機(jī)技術(shù)規(guī)格：

主要部件	指標(biāo)名稱	參數(shù)指標(biāo)
清洗倉(cāng)體	清洗倉(cāng)材質(zhì)	高純石英
	清洗倉(cāng)尺寸	直徑100mm;長(zhǎng)度270mm
射頻電源	電源特性	該電源為全固態(tài)射頻電源，采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件，使產(chǎn)品的可靠性得以保證。
	電源優(yōu)勢(shì)	●可長(zhǎng)時(shí)間正常運(yùn)行 ● 操作簡(jiǎn)單靈活 ● 電源效率高、發(fā)熱少 ● 具有完善的反射功率保護(hù)功能
	射頻功率	0~100W連續(xù)可調(diào)/0~150W連續(xù)可調(diào)
	信號(hào)頻率	13.56MHz ±0.005%
	反射功率	≤100W
	功率穩(wěn)定度	±0.1%
	射頻接頭	N型頭
	整機(jī)效率	≥75%
	諧波分量	≤-50 dBc
	冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷
氣體測(cè)量	測(cè)量部件	浮子流量計(jì)
	氣體通道	兩通道
	A通道量程	10～100ml
	B通道量程	16～160ml
真空獲取	真空測(cè)量	數(shù)字真空計(jì)（電阻規(guī)）
	真空抽取	雙極旋片泵
	電機(jī)轉(zhuǎn)速	50Hz時(shí)為：1440；60Hz時(shí)為：1720。
	抽氣速率	50Hz時(shí)為：240L/Min；60Hz時(shí)為：288L/Min。
	真空量程	0.1Pa～10000Pa
	極限真空	0.5Pa
	電機(jī)噪音	≤56dB
	管道接口	進(jìn)氣口：KF16;排氣口KF16.
	連接管道	KF16真空波紋管
	真空閥門	KF16球閥
	電機(jī)功率	400W
其它	供電電源	AC220V 50/60Hz
	整機(jī)功率	550W/600W
	使用溫度	-10℃ -- 40℃
	工作真空	≤40Pa
	整機(jī)尺寸	540mmX500mmX440mm
	整機(jī)重量	58kg（含包裝）

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