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○ 產(chǎn)品介紹
TN-PEC250G-HV碳鎢蒸發(fā)等離子濺射復(fù)合鍍膜儀可進(jìn)行真空蒸碳、真空熱蒸發(fā)和等離子濺射，它也可以在高純氬氣的保護(hù)之下進(jìn)行多種離子處理。通過更換功能套件，設(shè)備可以在多種功能間快速切換，非常適合實(shí)驗(yàn)室制作SEM樣品使用。本儀器裝有機(jī)械泵和分子泵，能夠滿足多種真空度要求，尤其能夠?qū)崿F(xiàn)高真空，能夠有效提高鍍膜質(zhì)量。
○ 適用范圍
實(shí)驗(yàn)室鍍膜使用。
○ 技術(shù)參數(shù)
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真空腔體 |
高純石英，鐘罩狀，φ250x340mm |
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蒸發(fā)腔體 |
高純石英，鍍罩狀，帶側(cè)面開孔，尺寸φ88x150mm |
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等離子濺射腔體 |
高純石英，鍍罩狀，帶側(cè)面開孔，尺寸φ88x150mm |
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等離子濺射套件 濺射電壓1600V
*大電流50mA
靶面尺寸2英寸
工作真空10Pa~20Pa
工作氣氛需通入高純氬氣
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熱蒸發(fā)鍍膜套件 蒸發(fā)源數(shù)量2個
*大電流100A
工作真空10^-3Pa
工作氣氛不通入任何氣體
樣品臺直徑φ60mm，可旋轉(zhuǎn)
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碳蒸發(fā)套件 蒸發(fā)方式碳棒蒸發(fā)
*大電流160A
工作真空10^-3Pa
工作氣氛不通入任何氣體
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真空系統(tǒng) |
產(chǎn)品型號TN-GZK103-A 分子泵渦輪分子泵 前極泵雙極旋片泵 抽氣速率分子泵：600L/S綜合抽氣性能：30分鐘真空度可達(dá)：5×10E-3Pa 旋片泵：1.1L/S 極限真空5×10E-4Pa 抽氣接口KF40 排氣接口KF16 真空測量復(fù)合真空計 |
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進(jìn)氣系統(tǒng) |
配有手動微調(diào)閥，接口為1/4英寸卡套接頭 |
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供電要求 |
AC 220V 50Hz |
○免責(zé)聲明
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