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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
迷你石墨烯CVD設(shè)備專為石墨烯生產(chǎn)設(shè)計(jì)配有高精度質(zhì)量流量計(jì)以及薄膜真空規(guī)。迷你石墨烯CVD設(shè)備同時(shí)設(shè)備配有可燃?xì)怏w檢測(cè)裝置，聯(lián)動(dòng)出氣口電磁閥，一旦出現(xiàn)泄漏電磁閥即可自行關(guān)閉保證**。
詳情介紹：
迷你石墨烯CVD設(shè)備
本套CVD系統(tǒng)專為石墨烯生產(chǎn)設(shè)計(jì)，采用1200℃迷你管式爐，配有高精度質(zhì)量流量計(jì)以及薄膜真空規(guī)。相比于常規(guī)的皮拉尼電阻規(guī)，薄膜規(guī)的讀數(shù)**，不受氣體種類影響，十分適合真空鍍膜工藝。同時(shí)設(shè)備配有可燃?xì)怏w檢測(cè)裝置，聯(lián)動(dòng)出氣口電磁閥，一旦出現(xiàn)泄漏電磁閥即可自行關(guān)閉保證**。
該套設(shè)備功能**占地面積較小，十分適合實(shí)驗(yàn)室規(guī)模的CVD制備。
特點(diǎn)
1.高精度質(zhì)量流量計(jì)以及薄膜真空規(guī)。
2.可燃?xì)怏w檢測(cè)裝置，聯(lián)動(dòng)出氣口電磁閥。
3.體積小巧
4.專為石墨烯生產(chǎn)設(shè)計(jì)
技術(shù)參數(shù)：
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1200℃迷你管式爐 |
供電電壓 | AC220V,50Hz |
| 功率 | 2KW max | |
| 加熱溫區(qū) | 單溫區(qū)200mm | |
| 恒溫區(qū)長(zhǎng) | 100mm | |
| 加熱元件 | 耐熱合金絲 | |
| 熱電偶 | K型 | |
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工作溫度 |
≤1150℃ |
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升溫速率 |
建議≤10℃/min |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫方式 |
AI-PID 30段工藝曲線，帶有過熱和斷偶保護(hù) |
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爐管材質(zhì) |
高純石英 |
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爐管尺寸 |
φ50mm O.D x 450mm L |
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真空泵 |
機(jī)械泵 抽速1.1L/s |
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極限真空 |
5Pa |
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三路浮子流量計(jì) |
閥門類型 |
不銹鋼針閥 |
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氣路數(shù)量 |
三路 |
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承壓范圍 |
0.05~0.3MPa |
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量程 |
Ar 0~500sccm H2 0~200sccm CH4 0~10sccm |
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流量控制范圍 |
±1.5% |
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混氣罐容積 |
750mL |
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氣路材料 |
304不銹鋼 |
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管道接口 |
6.35mm卡套接頭 |
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供電電源 |
AC220V 50Hz |
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