技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱(chēng)	單靶等離子濺射鍍膜儀（標(biāo)準(zhǔn)型）
產(chǎn)品型號(hào)	CY-PLZ180-I-DC-Q
樣　品臺(tái)	尺寸	100mm
	旋轉(zhuǎn)速度	1~20rpm可調(diào)
等離子濺射靶	數(shù)量	2英寸x1
	冷卻方式	自然冷卻
真空腔體	腔體尺寸	φ180mm X 150mm
	觀察窗口	全向可視
	腔體材料	高純石英
	開(kāi)啟方式	頂蓋拆卸式
	上下蓋材質(zhì)	304不銹鋼
	抽氣接口	KF25
	進(jìn)氣接口	1/4英寸卡套接頭
電源配置	數(shù)量	直流電源x1
	輸出功率	*大150W
	濺射電源	3000V
	*大濺射電流	50mA
真空系統(tǒng)	真空泵類(lèi)型	雙極旋片真空泵
	抽氣接口	KF25
	排氣接口	KF16
	抽氣速率	1.1L/s（4m3/h）
	極限真空度	≥0.1Pa
	真空測(cè)量	電阻真空規(guī)
其他	供電電源	AC 220V  50Hz
	整機(jī)功率	1.5kW
	整機(jī)尺寸	570mm X 450mm X450mm
	整機(jī)重量	30kg